GLOW-DISCHARGE POLYMERIZATION OF CF4/CH4 MIXTURE INVESTIGATED BY INFRARED-SPECTROSCOPY AND ESCA

被引:10
作者
INAGAKI, N
KATSUURA, K
机构
来源
JOURNAL OF MACROMOLECULAR SCIENCE-CHEMISTRY | 1982年 / A18卷 / 04期
关键词
D O I
10.1080/00222338208082076
中图分类号
O63 [高分子化学(高聚物)];
学科分类号
070305 ; 080501 ; 081704 ;
摘要
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页数:12
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