OPTICAL-ABSORPTION AND ELECTRICAL-CONDUCTIVITY OF SIC FILMS PRODUCED BY ION-IMPLANTATION

被引：19

作者：

ROTHEMUND, W ^{[1
]}

FRITZSCHE, CR ^{[1
]}

机构：

[1] FRAUNHOFER GESELL, INST ANGEW FESTKORPERPHYS, D-78 FREIBURG, WEST GERMANY

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1974年 / 121卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2401864

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：586 / 588

页数：3

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共 12 条

[11] INFRARED PROPERTIES OF CUBIC SILICON CARBIDE FILMS
SPITZER, WG
KLEINMAN, DA
FROSCH, CJ
[J]. PHYSICAL REVIEW, 1959, 113 (01): : 133 - 136
[12] TINSLEY AW, 1971, 2ND P INT C ION IMPL, P199