A HIGH-PERFORMANCE ELECTRON-ENERGY LOSS SPECTROMETER FOR USE WITH A DEDICATED STEM

被引:12
作者
ISAACSON, M [1 ]
SCHEINFEIN, M [1 ]
机构
[1] CORNELL UNIV,NATL RES & RESOURCE FACIL SUBMICRON STRUCT,ITHACA,NY 14853
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1983年 / 1卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.582742
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:1338 / 1343
页数:6
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