MAYADAS-SHATZKES CONDUCTION IN NUCLEATION-GROWN RF SPUTTERED FILMS OF ALUMINUM

被引:33
作者
TELLIER, C [1 ]
TOSSER, A [1 ]
机构
[1] UNIV HAUTE NORMANDIE,UER SCI & TECH,ELECTR & AUTOM LAB,F-76077 LE HAVRE,FRANCE
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(76)90185-1
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页数:8
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