SURFACE-STRUCTURE OF GLOW-DISCHARGE A-SI-H - IMPLICATIONS FOR MULTILAYER FILM GROWTH

被引：6

作者：

COLLINS, RW

CAVESE, JM

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-3093(87)90345-0

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：1439 / 1442

页数：4

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共 6 条

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