EFFECTS OF LOW-FREQUENCY MODULATION ON RF DISCHARGE CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引：166

作者：

WATANABE, Y

SHIRATANI, M

KUBO, Y

OGAWA, I

OGI, S

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.100445

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1263 / 1265

页数：3

共 6 条

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