ARSENIC SEGREGATION TO SILICON SILICON-OXIDE INTERFACES

被引：18

作者：

WONG, CY

GROVENOR, CRM

BATSON, PE

ISAAC, RD

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.336118

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1259 / 1262

页数：4

共 14 条

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