A SIMPLE CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION METHOD FOR DEPOSITING THIN TIO2 FILMS

被引：186

作者：

YEUNG, KS

LAM, YW

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(83)90136-0

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：169 / 178

页数：10

共 9 条

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