A POLYIMIDE-BASED CAPACITIVE HUMIDITY SENSOR

被引：123

作者：

SCHUBERT, PJ ^{[1
]}

NEVIN, JH ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CINCINNATI,SOLID STATE ELECTR LAB,CINCINNATI,OH 45221

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES | 1985年 / 32卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1985.22104

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：1220 / 1223

页数：4

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