GAP STATES IN SILICON-NITRIDE

被引:424
作者
ROBERTSON, J [1 ]
POWELL, MJ [1 ]
机构
[1] PHILIPS RES LABS,REDHILL RH1 5HA,SURREY,ENGLAND
关键词
D O I
10.1063/1.94794
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:415 / 417
页数:3
相关论文
共 26 条