MOISTURE SENSOR DEVICES COMPOSED OF THIN-FILMS PLASMA-POLYMERIZED FROM AMINO-GROUPS-CONTAINING SILANES

被引：5

作者：

INAGAKI, N

SUZUKI, K

OHISHI, K

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0169-4332(85)90222-3

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：163 / 172

页数：10

共 9 条

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