MODEL FOR SURFACE-LAYER COMPOSITION CHANGES IN SPUTTERED ALLOYS AND COMPOUNDS

被引：70

作者：

HAFF, PK ^{[1
]}

机构：

[1] YALE UNIV,AW WRIGHT NUCL STRUCT LAB,NEW HAVEN,CT 06520

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.89652

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：259 / 260

页数：2

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LIAU, ZL
BROWN, WL
HOMER, R
POATE, JM
[J]. APPLIED PHYSICS LETTERS, 1977, 30 (12) : 626 - 628
[3] PREFERENTIAL OXYGEN SPUTTERING FROM NB2O5
MURTI, DK
KELLY, R
[J]. THIN SOLID FILMS, 1976, 33 (02) : 149 - 163
[4] SWITKOWSKI ZE, UNPUBLISHED