IDENTIFICATION OF INFRARED-ABSORPTION PEAKS OF AMORPHOUS SILICON-CARBON ALLOY BY THERMAL ANNEALING

被引:37
作者
LIN, WL
TSAI, HK
LEE, SC
SAH, WJ
TZENG, WJ
机构
关键词
D O I
10.1063/1.98963
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2112 / 2114
页数:3
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