COMPARATIVE THERMODYNAMIC ANALYSIS OF INP AND GAAS DEPOSITION

被引:68
作者
SHAW, DW [1 ]
机构
[1] TEXAS INSTR INC,DALLAS,TX 75222
关键词
D O I
10.1016/0022-3697(75)90121-3
中图分类号
O6 [化学];
学科分类号
0703 ;
摘要
引用
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页数:8
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