AUTOMATIC-MEASUREMENT AND CORRECTION OF DEFLECTION ASTIGMATISM AND DEFOCUSING IN THE HEWLETT-PACKARD-605 ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY SYSTEM

被引：9

作者：

OWEN, G

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 19卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571169

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1064 / 1068

页数：5

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