SIMPLE, EFFICIENT UHV MANIPULATOR

被引：25

作者：

THIEL, PA ^{[1
]}

ANDEREGG, JW ^{[1
]}

机构：

[1] IOWA STATE UNIV SCI & TECHNOL,AMES LAB,AMES,IA 50011

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1984年 / 55卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1137598

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：1669 / 1671

页数：3

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共 4 条

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