AUTOMATIC EVALUATION OF OPTICAL-CONSTANTS AND THICKNESS OF THIN-FILMS - APPLICATION TO THIN DIELECTRIC LAYERS

被引:38
作者
PELLETIER, E [1 ]
ROCHE, P [1 ]
VIDAL, B [1 ]
机构
[1] UNIV AIX MARSEILLE,CTR ETUD COUCHES MINCES,OPTIQUE LAB,F-13397 MARSEILLE 4,FRANCE
来源
NOUVELLE REVUE D OPTIQUE | 1976年 / 7卷 / 06期
关键词
D O I
10.1088/0335-7368/7/6/301
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
引用
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页码:353 / 362
页数:10
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