CRYSTAL PERFECTION OF SILICON SINGLE-CRYSTALS GROWN BY THE MAGNETIC-FIELD-APPLIED CZOCHRALSKI METHOD

被引：5

作者：

KAWADO, S ^{[1
]}

MARUYAMA, T ^{[1
]}

SUZUKI, T ^{[1
]}

ISAWA, N ^{[1
]}

HOSHI, K ^{[1
]}

机构：

[1] SONY CORP,SEMICOND GRP,KANAGAWA 243,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2108515

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：171 / 174

页数：4

共 9 条

HOSHI, K ;

ISAWA, N ;

SUZUKI, T ;

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