MECHANISM OF ENHANCED SPUTTERING OF CARBON AT TEMPERATURES ABOVE 1200-DEGREES-C

被引:69
作者
ROTH, J
MOLLER, W
机构
关键词
D O I
10.1016/0168-583X(85)90470-7
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
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页数:5
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