NORMALLY CLOSED MICROVALVE AND MICROPUMP FABRICATED ON A SILICON-WAFER

被引：117

作者：

ESASHI, M

SHOJI, S

NAKANO, A

机构：

来源：

SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 20卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0250-6874(89)87114-8

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：163 / 169

页数：7

相关论文

共 5 条

[1] ESASHI M, 1986, 6TH P SENS S TSUK, P269
[2] ESASHI M, 1987, 4 INT C SOL STAT SEN, P830
[3] INTEGRATED MOVABLE MICROMECHANICAL STRUCTURES FOR SENSORS AND ACTUATORS
FAN, LS
TAI, YC
MULLER, RS
[J]. IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 1988, 35 (06) : 724 - 730
[4] Ko W.H., 1985, MICROMACHINING MICRO, P41
[5] PROTOTYPE MINIATURE BLOOD-GAS ANALYZER FABRICATED ON A SILICON-WAFER
SHOJI, S
ESASHI, M
MATSUO, T
[J]. SENSORS AND ACTUATORS, 1988, 14 (02): : 101 - 107