RADIATION-DAMAGE EVALUATION IN EXCIMER LASER-BEAM IRRADIATION AND REACTIVE ION ETCHING

被引：10

作者：

SEKINE, M

OKANO, H

YAMABE, K

HAYASAKA, N

HORIIKE, Y

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1986年 / 25卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.25.1111

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1111 / 1114

页数：4

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共 6 条

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