ON THE INVESTIGATION OF DC PLASMATRON DISCHARGES BY OPTICAL-EMISSION SPECTROMETRY

被引：45

作者：

SCHILLER, S ^{[1
]}

HEISIG, U ^{[1
]}

STEINFELDER, K ^{[1
]}

STRUMPFEL, J ^{[1
]}

VOIGT, R ^{[1
]}

FENDLER, R ^{[1
]}

TESCHNER, G ^{[1
]}

机构：

[1] VEB ZENTRUM FORSCH & TECHNOL MIKROELEKTR,DRESDEN,GER DEM REP

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(82)90247-4

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：235 / 240

页数：6

共 5 条

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