NEGATIVE-ION DENSITIES IN NF3 DISCHARGES

被引：38

作者：

GREENBERG, KE ^{[1
]}

HEBNER, GA ^{[1
]}

VERDEYEN, JT ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV ILLINOIS,COORDINATED SCI LAB,URBANA,IL 61801

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.94731

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：299 / 300

页数：2

共 8 条

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