PEAK RESOLVING OF COMPLEX AUGER-SPECTRA BY LEAST-SQUARES FITTING WITH PREFILTERING OF SPECTRA - AN APPLICATION TO DEPTH PROFILING

被引：18

作者：

SEKINE, T ^{[1
]}

ANDO, Y ^{[1
]}

TOKUMASU, H ^{[1
]}

机构：

[1] MATSUSHITA TECH RES INC,3-15 YAKUMONAKA CHO,MORIGUCHI,OSAKA 570,JAPAN

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1986年 / 4卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.573504

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：1557 / 1561

页数：5

共 7 条

[1]

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