MINORITY-CARRIER LIFETIME IN FURNACE AND E-BEAM ANNEALED CZ SILICON

被引:10
作者
SUSI, E [1 ]
LULLI, G [1 ]
PASSARI, L [1 ]
机构
[1] IST FIS,GRP NAZI STRUTTURA MAT,GNSM,FERRARA,ITALY
关键词
D O I
10.1149/1.2100649
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
20
引用
收藏
页码:1239 / 1243
页数:5
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共 21 条
[21]  
1980, ASTM STP, V712