FINES IN FLUIDIZED-BED SILANE PYROLYSIS

被引：47

作者：

HSU, G

HOGLE, R

ROHATGI, N

MORRISON, A

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2115668

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：660 / 663

页数：4

共 8 条

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