NUCLEATION AND STRAIN RELAXATION AT THE INAS/GAAS(100) HETEROJUNCTION

被引:141
作者
SCHAFFER, WJ [1 ]
LIND, MD [1 ]
KOWALCZYK, SP [1 ]
GRANT, RW [1 ]
机构
[1] ROCKWELL INT CORP,CTR MICROELECTR RES & DEV,THOUSAND OAKS,CA 91360
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1983年 / 1卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.582579
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:688 / 695
页数:8
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