PRINCIPLES AND APPLICATIONS OF CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION (CVD)

被引:36
作者
SPEAR, KE
机构
关键词
D O I
10.1351/pac198254071297
中图分类号
O6 [化学];
学科分类号
0703 ;
摘要
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页码:1297 / 1311
页数:15
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