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A TRENCH-ISOLATED SUBMICROMETER CMOS TECHNOLOGY
被引:10
作者
:
VYAS, HP
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VYAS, HP
LUTZE, RSL
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LUTZE, RSL
HUANG, JST
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HUANG, JST
机构
:
来源
:
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES
|
1985年
/ 32卷
/ 05期
关键词
:
D O I
:
10.1109/T-ED.1985.22049
中图分类号
:
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
:
0808 ;
0809 ;
摘要
:
引用
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YAMAGUCHI T, 1983, DEC IEEE IEDM 83, P522
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