A TRENCH-ISOLATED SUBMICROMETER CMOS TECHNOLOGY

被引：10

作者：

VYAS, HP

LUTZE, RSL

HUANG, JST

机构：

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES | 1985年 / 32卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1985.22049

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

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页码：926 / 931

页数：6

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共 21 条

[21] YAMAGUCHI T, 1983, DEC IEEE IEDM 83, P522