A TRENCH-ISOLATED SUBMICROMETER CMOS TECHNOLOGY

被引:10
作者
VYAS, HP
LUTZE, RSL
HUANG, JST
机构
关键词
D O I
10.1109/T-ED.1985.22049
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:926 / 931
页数:6
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共 21 条
  • [21] YAMAGUCHI T, 1983, DEC IEEE IEDM 83, P522