APPLICATIONS OF MICROFOCUSED ION-BEAMS IN SURFACE AND THIN-FILM ANALYSIS

被引：5

作者：

THURSTANS, RE

WOLSTENHOLME, J

机构：

来源：

VACUUM | 1987年 / 37卷 / 3-4期

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(87)90011-X

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：289 / 291

页数：3

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共 2 条

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