ELECTRON-OPTICAL COLUMN FOR HIGH-SPEED ELECTRON-BEAM DELINEATOR - VL-R2

被引：5

作者：

NAKASUJI, M

WADA, H

SANO, S

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 21卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571838

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：872 / 878

页数：7

共 16 条

BINDER, HJ ;

HAHMANN, P .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1979, 16 (06) :1723-1725

[2]

BROERS AN, 1979, 15TH P EIP S, P269

[3]

COGSWELL G, 1978, 8TH EIB, P900

[4]

CREWE AV, 1978, OPTIK, V52, P337

[5] AUTOMATIC STABILIZATION OF AN ELECTRON-PROBE FORMING SYSTEM [J].

DORAN, S ;

PERKINS, M ;

STICKEL, W .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1975, 12 (06) :1174-1176

[6]

FUJINAMI M, 1981, UNPUB 15TH EIP S

[7]

GOTO E, 1978, 14TH P EIP S, P883

[8]

MOORE RD, 1981, UNPUB 15TH EIP S

NAKASUJI, M ;

WADA, H .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1980, 17 (06) :1367-1372

[10]

PFEIFFER HC, 1978, 14TH P EIP S, P887