FEW CHARACTERISTICS OF EPITAXIAL GAN - ETCHING AND THERMAL-DECOMPOSITION

被引：47

作者：

MORIMOTO, Y ^{[1
]}

机构：

[1] OKI ELECT IND CO LTD,RES LAB,550-5 HIGASHIASAKAWA,HACHIOJI 193,TOKYO,JAPAN

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1974年 / 121卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2401694

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：1383 / 1384

页数：2

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