THE ORGANO-METALLIC VPE GROWTH OF GASB AND GAAS1-XSBX USING TRIMETHYLANTIMONY

被引:61
作者
COOPER, CB [1 ]
SAXENA, RR [1 ]
LUDOWISE, MJ [1 ]
机构
[1] VARIAN ASSOCIATES,CORP SOLID STATE LAB,PALO ALTO,CA 94303
关键词
D O I
10.1007/BF02658912
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:1001 / 1010
页数:10
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