EFFECT OF OXIDATION ON THE SPUTTERING BEHAVIOR OF MO BOMBARDED WITH A+-PRIMARY IONS

被引：2

作者：

KIUCHI, K

KONDO, T

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关键词：

D O I：

10.2320/jinstmet1952.47.6_494

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页码：494 / 501

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[11]

SIGMUND P, 1969, PHYS REV, V184, P389

[12] NUCLEAR DESIGN SENSITIVITY ANALYSIS FOR A FUSION REACTOR [J].

SIMMONS, EL ;

DUDZIAK, DJ ;

GERSTL, SAW .

THOMPSON, MW .

PHILOSOPHICAL MAGAZINE, 1968, 18 (152) :377-&

[14]

TOWUSEND PD, 1976, ION IMPLANTATION SPU, P111