RELATIONSHIPS BETWEEN STRESS AND LOCAL HYDROGEN-BONDING IN SPUTTERED SIN-H

被引：6

作者：

MARTIN, PM

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1984年 / 2卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.572594

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

收藏

页码：330 / 331

页数：2

相关论文

共 2 条

[1] DETERMINATION OF STRESS IN FILMS ON SINGLE CRYSTALLINE SILICON SUBSTRATES [J].

GLANG, R ;

HOLMWOOD, RA ;

ROSENFELD, RL .

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 1965, 36 (01) :7-+

[2]

PAN P, 1983, 1983 SPRING M EL SOC, V83, P165