PARTICLE DISTRIBUTIONS AND LASER PARTICLE INTERACTIONS IN AN RF DISCHARGE OF SILANE

被引:177
作者
SPEARS, KG
ROBINSON, TJ
ROTH, RM
机构
关键词
D O I
10.1109/TPS.1986.4316521
中图分类号
O35 [流体力学]; O53 [等离子体物理学];
学科分类号
070204 ; 080103 ; 080704 ;
摘要
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页数:9
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