A WSI/TIN/AU GATE SELF-ALIGNED GAAS-MESFET WITH SELECTIVELY GROWN N+-LAYER USING MOCVD

被引:19
作者
IMAMURA, K
YOKOYAMA, N
OHNISHI, T
SUZUKI, S
NAKAI, K
NISHI, H
SHIBATOMI, A
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1984年 / 23卷 / 05期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.23.L342
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:L342 / L345
页数:4
相关论文
共 7 条
[1]  
NAKAYAMA Y, 1983, ISSCC, P48
[2]  
NEISON CW, 1969, P INT S HYBRID MICRO
[3]  
OHNISHI T, 1983, APPL PHYS LETT, V43, P588
[4]  
VANDERZIEL A, 1962, P IRE, V50, P1808
[6]  
YOKOYAMA N, 1983, IEEE INT SOLID STATE, P44
[7]  
YOKOYAMA N, 1983, APPL PHYS LETT, V42, P1