ELECTRON-SPIN-RESONANCE STUDY OF HIGH-FIELD STRESSING IN METAL-OXIDE-SILICON DEVICE OXIDES

被引:56
作者
WARREN, WL
LENAHAN, PM
机构
关键词
D O I
10.1063/1.97391
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:1296 / 1298
页数:3
相关论文
共 19 条