EVALUATION OF DERIVATIVES OF REFLECTANCE AND TRANSMITTANCE BY STRATIFIED STRUCTURES AND SOLUTION OF THE REVERSE PROBLEM OF ELLIPSOMETRY

被引：11

作者：

HUMLICEK, J

机构：

来源：

OPTICA ACTA | 1983年 / 30卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1080/713821048

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：97 / 105

页数：9

共 9 条

[1]

Abeles F., 1950, ANN PHYS-PARIS, V12, P596, DOI [DOI 10.1051/ANPHYS/195012050596, 10.1051/anphys/195012050596]

[2]

Abeles F, 1950, ANN PHYS-PARIS, V5, P706

[3]

Azzam RMA, 1977, ELLIPSOMETRY POLARIZ

[4] METHODS OF ALTERING CHARACTERISTICS OF A MULTILAYER STACK [J].

BAUMEISTER, PW .

[5]

BERNING PH, 1963, PHYSICS THIN FILMS, V1

[6]

LOOTSMA FA, 1972, NUMERICAL METHODS NO

MARQUARDT, DW .

JOURNAL OF THE SOCIETY FOR INDUSTRIAL AND APPLIED MATHEMATICS, 1963, 11 (02) :431-441

MOUCHART, J .

OPTICA ACTA, 1980, 27 (03) :401-408

[9]

VANDERLAAN CJ, 1978, APPL OPTICS, V17, P538, DOI 10.1364/AO.17.000538