GETTERING OF MOBILE OXYGEN AND DEFECT STABILITY WITHIN BACK-SURFACE DAMAGE REGIONS IN SI - COMMENT

被引：2

作者：

SCHAAKE, HF

机构：

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1982年 / 53卷 / 02期

基金：

美国国家科学基金会;

关键词：

D O I：

10.1063/1.330532

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1226 / 1226

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