A SIMPLE COULOMETRIC METHOD FOR MEASURING THE THICKNESS OF VAPOR-DEPOSITED SILVER FILMS

被引:4
作者
FORNARI, B
MATTEI, G
PAGANNONE, M
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1988年 / 6卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.575005
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:167 / 168
页数:2
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共 2 条
[1]  
Chang R. K., 1982, SURFACE ENHANCED RAM
[2]   MASS DETERMINATION WITH PIEZOELECTRIC QUARTZ CRYSTAL RESONATORS [J].
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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1975, 12 (01) :578-583