MASS DETERMINATION WITH PIEZOELECTRIC QUARTZ CRYSTAL RESONATORS

被引:78
作者
LU, CS [1 ]
机构
[1] INFICON INC,E SYRACUSE,NY 13057
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.568614
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:578 / 583
页数:6
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