NOVEL POLYMERIC DISSOLUTION INHIBITOR FOR THE DESIGN OF SENSITIVE, DRY ETCH RESISTANT, BASE-DEVELOPABLE RESIST

被引:35
作者
ITO, H
FLORES, E
RENALDO, AF
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2096264
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:2328 / 2333
页数:6
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