A MODEL OF SPUTTERING FROM SPIKES

被引:24
作者
SZYMONSKI, M
PORADZISZ, A
机构
来源
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING | 1982年 / 28卷 / 03期
关键词
D O I
10.1007/BF00617983
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:175 / 178
页数:4
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