DEPOSITION OF ATOMS SPUTTERED IN AN ABNORMAL GLOW DISCHARGE

被引：8

作者：

MASE, H

NAKAYA, S

HATTA, Y

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1710032

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：2960 / &

共 8 条

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