ELECTROCHEMICAL PHENOMENA IN THIN FILMS OF SILICON DIOXIDE ON SILICON

被引:51
作者
SERAPHIM, DP
BRENNEMANN, AE
FRIEDMAN, HL
DHEURLE, FM
机构
关键词
D O I
10.1147/rd.84.0400
中图分类号
TP3 [计算技术、计算机技术];
学科分类号
0812 ;
摘要
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共 12 条
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