SCANNING AUGER-ELECTRON MICROSCOPY AT 30 NM RESOLUTION

被引：47

作者：

VENABLES, JA ^{[1
]}

JANSSEN, AP ^{[1
]}

HARLAND, CJ ^{[1
]}

JOYCE, BA ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV SUSSEX,SCH MATH & PHYS SCI,BRIGHTON BN1 9QH,SUSSEX,ENGLAND

来源：

PHILOSOPHICAL MAGAZINE | 1976年 / 34卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1080/14786437608222040

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：495 / 500

页数：6