SCANNING ELECTRON-MICROSCOPY OF THE MICROTOPOGRAPHY OF A (111) SILICON SURFACE

被引：9

作者：

KATZER, D

SAFRAN, G

机构：

[1] Akad der Wissenschaften der DDR,, Inst fuer Festkoerperphysik und, Elektronenmikroskopie, Halle/Saale,, Akad der Wissenschaften der DDR, Inst fuer Festkoerperphysik und Elektronenmikroskopie, Halle/Saale

来源：

ULTRAMICROSCOPY | 1984年 / 15卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0304-3991(84)90082-2

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：135 / 138

页数：4

共 6 条

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