TETRAFLUOROMETHANE INJECTED INTO A DC ARGON GLOW-DISCHARGE

被引:3
作者
COBURN, JW [1 ]
KAY, E [1 ]
机构
[1] IBM CORP,SAN JOSE,CA 95193
来源
JOURNAL OF MACROMOLECULAR SCIENCE-CHEMISTRY | 1976年 / A 10卷 / 03期
关键词
D O I
10.1080/00222337608061194
中图分类号
O63 [高分子化学(高聚物)];
学科分类号
070305 ; 080501 ; 081704 ;
摘要
引用
收藏
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页数:7
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共 3 条
[1]  
CARTER G, 1968, ION BOMBARDMENT SOLI, P54
[3]   ION ENERGIES AT CATHODE OF A GLOW DISCHARGE [J].
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