MODIFIED PALLADIUM METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR STRUCTURES WITH INCREASED AMMONIA GAS SENSITIVITY

被引:94
作者
WINQUIST, F
SPETZ, A
ARMGARTH, M
NYLANDER, C
LUNDSTROM, I
机构
关键词
D O I
10.1063/1.94514
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:3
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